全新6英寸MEMS生产线的厂房外景
据麦姆斯咨询宣布，近日，美泰电子科技有限公司（以下简称：美泰科技）顺利完玉成新6英寸MEMS生产线的培植。这条环球领先的生产线将有助于降落MEMS产品生产本钱，同时还会加快现有MEMS运用的遍及，以及创新MEMS市场的开拓。该MEMS生产线位于河北石家庄市鹿泉区信息家当园，采取全新的厂房设计和前辈的MEMS生产设备。
全新的MEMS厂房设计
全新6英寸MEMS生产线的超净间内景
美泰科技的6英寸MEMS生产线总投资超过1亿美元，是一个以生产高端MEMS产品为主的全新自动化产线。该新产线的月产能达到1万片，将成为海内乃至国际上规模最大的高端MEMS传感器生产基地之一。
美泰科技是中国最大的MEMS高端核心芯片供应商，致力于MEMS器件与系统的研发、生产和发卖，紧张产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试丈量传感器、MEMS压力传感器、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。
美泰科技生产的6英寸MEMS晶圆
美泰科技副总经理吝海锋说道：“目前国际上比较成功的MEMS企业大多是IDM企业。美泰科技具有完备的MEMS和ASIC芯片设计、芯片制造和封测以及系统集成能力，是一个范例的IDM企业，并已通过了ISO9001：2008、TS16949:2009、GJB9001B-2009体系认证，为客户供应高品质的产品与做事。美泰科技的MEMS产品运用领域紧张有航空航天、汽车、高铁、测试丈量、无人机、智能制造、地震、风电、桥梁、工程机器、家电和工业物联网等。”
美泰科技生产的汽车MEMS传感器
面向“高效、环保”发动机系统，美泰科技在国家科技部的支持下开拓了MEMS空气流量计、MEMS差压传感器、MEMS歧管压力传感器等用于汽车发动机系统干系系列产品，打破了核心流量、压力、差压芯片的设计、工艺、加工和测试技能，并配套自筹资金形成了年产300万只的批量生产能力，该系列传感器均冲破欧美技能垄断，补充了海内空缺，申请专利3项，参与制订工信部汽车传感器行业标准2项，实现汽车发动机核心传感器芯片国产化和家当化的打破。
针对桥梁、精密光学平台、高分辨率对地不雅观测卫星、新型飞机和汽车NVH（噪声、振动与平顺性）测试等国家重大工程对高分辨率振动剖析仪器的需求，美泰科技打破了MEMS敏感构造芯片、超小体积、高精度敏感构造和ASIC旗子暗记读出电路的设计、加工和测试，研发出具有自主知识产权国际领先的3D集成技能的超低频微振MEMS加速度传感器，补充海内空缺，已授权发明专利2项，自身主导并与中国计量院互助制订MEMS加速度传感器国行家业标准，IEC47和ISO干系MEMS加速度国际标准，代表产品“MSV1200超低频微振动系列桥梁专用MEMS加速度传感器”得到中国半导体行业协会“第十届（2015年度）中国半导体创新产品和技能”奖。
基于节能减排、绿色能源、可持续发展的理念，美泰科技打破了智能MEMS传感器的芯片设计、MEMS工艺加工、检测电路、集成封装和测试等技能的研究，打破低本钱和批量制造等关键技能，研制出国际领先水平的物联网智能燃气表，补充海内空缺。具有微型化和智能化、传感器输出旗子暗记的数字化和网络化、量程比宽、运用范围广、可靠性高、性价比高、寿命长等上风。该项目申请专利2项，参与制订海内标准2项。
“根据Yole统计数据，未来五年环球MEMS市场的复合年增长率约为9%，环球MEMS出货量的复合年增长率约为13%。可见，MEMS是环球半导体行业最有前景的市场之一。我们建成的全新MEMS生产线将有助于公司加强在这一技能领域的海内领导地位。”吝总满怀希望地憧憬，“此外，海内里小MEMS企业发展面临很多困难，个中一个主要瓶颈便是MEMS代工环节，而美泰科技拥有20多年MEMS制造履历，具备成熟的工艺技能及量产能力，可为客户代工多种MEMS产品，加速中国MEMS家当化进程。”
凭借多年坚持不懈的努力，美泰科技节制核心技能，并已处于海内领先地位，正努力打造国际一流的MEMS企业。对美泰科技而言，除了打破技能上的固有寻衅，便是努力开拓国内外市场，进一步冲破国际MEMS巨子对家当的垄断。相信以美泰科技为代表的精良MEMS企业能早日让我们见证中国“芯”的崛起，闪耀国际舞台。
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