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1、MEMS芯片的加速度传感器事情事理：
MEAS 3028-002-P，4500-010。
在MEMS硅芯片上加一个质量块
（图片来自网络侵删）
在受到均匀加速度时（例如，重力加速度），质量块对MEMS芯片施加一个恒定的力，产生静态旗子暗记
在受到变加速度时（例如，振动），质量块对
MEMS芯片施加变力，产生动态旗子暗记
旗子暗记的振幅代表加速度的大小
大部分加速度传感器都以g为单位
1 g = 海平面的重力加速度
加速度传感器
2、振动/加速度传感器事情事理：
7132A-0100，7100A-0100，64C-2000
当受到应力或形变时，压电材料产生电压输出
压电材料与导电支撑基座连接
在压电材料的上面有一个电极，电极上面是个质量块
当受到的是均匀加速度（例如：重力加速度），输出为零
压电式加速度传感器只相应动态加速度或振动
加速度传感器
三、静态加速度传感器：
加速度传感器
封装
粘结或支架安装 表面贴装 陶瓷外壳封装
性能
量程(± g): 2 -- 6000 g 频率(Hz): 0-150 -- 0-7000 毫伏(mV) 输出
最大冲击：(± g): 10,000 g 事情温度范围(°C): -40 -- +125 非线性(%FSO): ±1.0
勉励电压(Vdc): 2 -- 10 输出: 0.10 -- 40mV/g (现行比例输出)
运用
地震监测传感器 倾角传感器 设备康健状态监测 主动阻尼
加速度传感器运用：
