而这些设备基本上都是与芯片工艺干系的，比如光刻机、刻蚀机、薄膜沉积和过程检测等等都是对应着XXnm工艺的，不是说有了设备，就可以生产任意工艺制程的芯片。
目前海内很多厂商的设备，能够支撑的工艺大多在28nm及以上工艺，也有些达到了14nm，再往下就极少极少了。
海内第一家进入5nm产线的设备厂商该当是中微半导体，他们家的刻蚀机在2019年的时候就实现了5nm的精度，并且被台积电利用，用在5nm芯片的制造之中。
事实上，在中微之后，也有第2家国产厂商，早成功打入5nm生产线了，并且在干法去胶设备领域，更是环球第一，这家厂商便是北京屹唐半导体科技株式会社（简称“屹唐股份”）。
屹唐股份的主营业务紧张有三块，分别是干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备，这些设备都是用于芯片制造的。
先说说干法去胶设备，这个过程是在光刻之后，去除晶圆上光刻胶的设备，目前屹唐股份干法去胶设备可以用于90nm到5nm芯片，并且被三星、台积电、中芯国际、美光等厂商利用，更主要的是，干法去胶设备，屹唐股份的市值份额环球第一。
再说说快速热处理设备，这种设备是用于增加光刻胶和基片间的黏附能力的设备。屹唐股份的快速热处理设备也能够用于90nm到5nm的芯片，紧张客户同样有台积电、三星、SK海力士，中芯国际这些巨子，从市场份额来看，排名环球第二。
而他的干法刻蚀设备紧张可用于65nm到5nm的芯片，紧张客户是三星、长江存储，从市场份额来看，排名环球第10。
为何屹唐股份能够这么强，这不得不说一下屹唐的核心子公司MTI（Mattson Technology Inc.）了，它是一家美国半导体设备厂商，成立于1988年，主营便是半导体设备的研发和生产，后来在2016年被屹唐股份私有化收购了，成为了屹唐的子公司。
而屹唐股份收购了MTI公司后，也把他们的核心高管留了下来，也吃透了他们的技能。而MTI在干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备方面都很强，于是顺理成章的，屹唐股份也就拥有了这三种设备的全套技能。
后来屹唐股份在2018年建好了中国研发制造基地后，也将这3种设备实现了本地化的生产和发卖，也就实现了国产设备在这三个领域的大步提高。
