良率是芯片制造中的主要指标。如果说前辈制程代表晶圆厂技能的领先性,那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性。在制造本钱固定的情形下,良率越高单颗芯片本钱越低。晶圆设计制造的每一步都影响着芯片的良率,因此芯片良率提升的关键在于对制造过程进行完全有效地监控检测,同时结合制造过程中的数据进行剖析,及时创造问题和潜在风险,并反馈至集成电路制造端和设计端,改进工艺和设计。
针对行业这一需求和痛点,东方晶源推出良率管理平台YieldBook,经由两年多的迭代升级,近期3.0版本上线。该版本充分发挥东方晶源在打算光刻软件OPC和电子束量测检测机台领域的兼备上风,成为业界率先实现对量测数据(MMS)、毛病数据(DMS)、良率数据(YMS)全面一站式的良率管理软件,可进行单独工艺质量监控、整体毛病率统计、良率丢失溯源剖析、将制造难点向上游设计端反馈等,全面监控影响良率的成分并赞助良率提升。

三大系统覆盖Fab全部数据类型 实现全流程一站式良率管理

芯片产品良率,其影响成分可能包含设计、工艺和设备,有关良率的完全根因剖析,须要此三方面的数据综合剖析,以是良率管理的能力,取决于所剖析数据范围的大小。在以往,FAB工程师须要借助MMS、DMS、YMS等多种工具。而YieldBook良率管理平台凑集了MMS、DMS、YMS三大系统,可实现对Fab全部数据类型的剖析。值得一提的是YieldBook平台并不是对付上述三个别系的大略承载,其可实现不同系统间底层数据的交叉剖析,为良率管理供应更多助益。
四大特色功能“傍身” 良率管理再添“新玩法”
YieldBook良率管理平台还具有四大特色功能,为FAB工程师带来“新玩法”。(1)Defect Similar Pattern Map Search(毛病相似图形晶圆查找):在Map gallery中选定base wafer,多维度设定查找条件,自动呈现查找相似结果,供工程师进一步剖析、查找毛病缘故原由;(2)PME (Process Margin Explorer,制程区间剖析器):基于D2DB毛病检测算法,将晶圆检测的图像与设计版图进行比对,可识别出影响工艺窗口的毛病版图信息;(3)Auto Ink:支持自动/手动的办法对单个或批量晶圆的全体区域或partical区域进行标定,提升晶圆出货时Inkless Map标定效率;(4)RDMS(Reticle Defect Management System,光罩毛病管理系统):剖析Retical干系数据,通过毛病热力争、重复毛病数量汇总、扫描毛病数据图表等形式展现剖析结果,从而实现对光罩的毛病管理。
完善的系统架构 打牢打实技能底座
良率管理软件须要实现对海量制造数据的实时剖析与反馈,要想知足这一严苛哀求,软件的系统架构、数据库、算法等是最为底层的核心要素。东方晶源YieldBook具有完善的系统架构层级,具有如下特点:存储打算分离的架构设计,按需对打算、存储分别进行在线扩容或缩容,其过程对运用运维职员透明;国产分布式金融级别数据库,采取多副本存储, 确保数据强同等性且少数副本故障时不影响数据的可用性,可知足不同容灾级的哀求;兼容MySQL 5.7协议、常用功能、生态,运用无需或修正少量代码可从MySQL迁移到TiDB,供应丰富的迁移工具完成数据迁移。值得一提的是,东方晶源对该系统架构拥有完备的自主知识产权。
以用户为中央 易用性独树一帜
作为一款运用级软件,软件是否好用是用户非常关心的问题,也决定着软件是否能被广泛接管。东方晶源YieldBook产品工程师具有多年的工艺履历,深入洞悉用户需求,因此YieldBook在易用性方面独树一帜。快速数据查询、强大的数据处理、多样化图标展示、高频操作一键触达、图表联动展示更清晰、平台统一支持跨数据剖析等,为良率管理工程师带来全新体验。
未来,东方晶源将对YieldBook进行持续优化升级,在确保功能更加完好的同时,供应极具竞争力的价格,更有效地帮助客户实现快速机台跨机,工艺优化。此外,YieldBook还将对前辈节点芯片制造的良率管理供应有利支持,降本增效的同时,实现良率快速爬坡、稳定量产。
东方晶源作为海内集成电路良率管理领导者,经由十多年的深耕和布局,已在制程掌握领域、制造类EDA领域取得卓越的成绩,其电子束量测检测设备,打算光刻软件等产品,办理了集成电路制造过程中关键难题。如果将量测检测设备比做“点”的话,那么良率管理系统便是一条“线”,把许多的点连接起来,系统化管理。YieldBook 3.0版本的推出,将发挥东方晶源软硬件协同上风,进一步夯实东方晶源在良率管理领域的实力和能力。




