永鼎股份申请芯片蚀刻机专利精准控制刻蚀液浓度以担保刻蚀精准度_所述_外包

专利择要显示，本发明涉及芯片技能领域，尤其是指一种芯片蚀刻机，包括外包箱，所述外包箱的前端呈开口设置，所述外包箱的前端迁徙改变连接有两个防护门，所述外包箱的内侧靠底部固接有中央箱，所述外包箱的内侧设置有刻蚀架，所述刻蚀架位于中央箱的上方，所述中央箱的顶面开设有两个用于刻蚀和洗濯的处理槽，所述处理槽中设置有喷淋组件，所述喷淋组件用于向晶圆表面喷淋刻蚀液和洗濯液，所述刻蚀架用于盛放晶圆，所述刻蚀架的外侧设置有移动组件，所述移动组件用于带动刻蚀架进行移动，通过此种设置，可以很精准的掌握相同浓度的刻蚀液持续向晶圆表面刻蚀，以此来担保刻蚀精准度。

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