4\u00266寸硅片为什么要留平边（flat）？_硅片_夹角

硅片的平边（Flat）是什么？

Flat也可以被称为定位边。
2，4，6寸硅片不是全体圆形，而是被切掉了一个缺角。
用CZ法拉出硅锭后，还未被切割成一片片硅片前，一旦晶向被确定，就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。
因此硅片有1-2个定位边，长的定位边在晶圆底部，短的定位边位置不固定，跟随晶向与掺杂类型发生变革。

定位边位置与晶向的关系？

硅片的晶向一样平常为三种：<111><110><100>。
当主定位边与次定位边夹角为45°时，硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时，硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时，硅片类型为n型<100>。
由于<110>晶向，不是主流的硅片晶向，因此没有一个标准来表示，可以根据硅片供应商自己的标准来表示<110>晶向。

主定位边与次定位边的长度是固定的吗？

是的，由于要匹配半导系统编制造设备，因此主，主次定位边的长度和位置都是固定的。

一样平常2inch的主定位边长度为15.8mm，4inch硅片主定位边长度为32.5mm，6inch硅片主定位边为57.5mm。
4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm，6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。

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