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芯片制造的6个关键步骤_光刻_芯片

少女玫瑰心 2024-08-27 23:56:09 0

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在智好手机等浩瀚数码产品的更新迭代中,科技的改变悄然发生。
苹果A15仿生芯片等尖端芯片正使得更多改造技能成为可能。
这些芯片是如何被制造出来的,个中又有哪些关键步骤呢?
智好手机、个人电脑、游戏机这类当代数码产品的强大性能已无需赘言,而这些强大的性能大多源自于那些非常小却又足够繁芜的科技产物——芯片。
天下已被芯片所包围:2020年,全天下共生产了超过一万亿芯片,这相称于地球上每人拥有并利用130颗芯片。
然而纵然如此,近期的芯片短缺依然表现出,这个数字还未达到上限。
只管芯片已经可以被如此大规模地生产出来,生产芯片却并非易事。
制造芯片的过程十分繁芜,本日我们将会先容六个最为关键的步骤:沉积、光刻胶涂覆、光刻、刻蚀、离子注入和封装。

沉积

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(图片来自网络侵删)

沉积步骤从晶圆开始,晶圆是从99.99%的纯硅圆柱体(也叫“硅锭”)上切下来的,并被打磨得极为光滑,然后再根据构造需求将导体、绝缘体或半导体材料薄膜沉积到晶圆上,以便能在上面印制第一层。
这一主要步骤常日被称为 \公众沉积\"大众。
随着芯片变得越来越小,在晶圆上印制图案变得更加繁芜。
沉积、刻蚀和光刻技能的进步是让芯片不断变小,从而推动摩尔定律不断延续的关键。
这包括利用新的材料让沉积过程变得更为精准的创新技能。

光刻胶涂覆

晶圆随后会被涂覆光敏材料“光刻胶”(也叫“光阻”)。
光刻胶也分为两种——“正性光刻胶”和“负性光刻胶”。
正性和负性光刻胶的紧张差异在于材料的化学构造和光刻胶对光的反应办法。
对付正性光刻胶,暴露在紫外线下的区域会改变构造,变得更随意马虎溶解从而为刻蚀和沉积做好准备。
负性光刻胶则恰好相反,受光照射的区域会聚合,这会使其变得更难溶解。
正性光刻胶在半导系统编制造中利用得最多,因其可以达到更高的分辨率,从而让它成为光刻阶段更好的选择。
现在天下上有不少公司生产用于半导系统编制造的光刻胶。

光刻

光刻在芯片制造过程中至关主要,由于它决定了芯片上的晶体管可以做到多小。
在这个阶段,晶圆会被放入光刻机中(没错,便是ASML生产的产品),被暴露在深紫外光(DUV)下。
很多时候他们的风雅程度比沙粒还要小几千倍。
光芒会通过“掩模版”投射到晶圆上,光刻机的光学系统(DUV系统的透镜)将掩模版上设计好的电路图案缩小并聚焦到晶圆上的光刻胶。
如之前先容的那样,当光芒照射到光刻胶上时,会产生化学变革,将掩模版上的图案印制到光刻胶涂层上。
使曝光的图案完备精确是一项棘手的任务,粒子滋扰、折射和其他物理或化学毛病都有可能在这一过程中发生。
这便是为什么有时候我们须要通过特地改动掩模版上的图案来优化终极的曝光图案,让印制出来的图案成为我们所须要的样子。
我们的系统通过“打算光刻”将算法模型与光刻机、测试晶圆的数据相结合,从而天生一个和终极曝光图案完备不同的掩模版设计,但这正是我们想要达到的,由于只有这样才能得到所须要的曝光图案。

刻蚀

下一步是去除退化的光刻胶,以显示出预期的图案。
在\公众刻蚀\"大众过程中,晶圆被烘烤和显影,一些光刻胶被洗掉,从而显示出一个开放通道的3D图案。
刻蚀工艺必须在不影响芯片构造的整体完全性和稳定性的情形下,精准且同等地形成导电特色。
前辈的刻蚀技能使芯片制造商能够利用双倍、四倍和基于间隔的图案来创造涌当代芯片设计的眇小尺寸。
和光刻胶一样,刻蚀也分为“干式”和“湿式”两种。
干式刻蚀利用气体来确定晶圆上的暴露图案。
湿式刻蚀通过化学方法来洗濯晶圆。
一个芯片有几十层,因此必须仔细掌握刻蚀,以免破坏多层芯片构造的底层。
如果蚀刻的目的是在构造中创建一个空腔,那就须要确保空腔的深度完备精确。
一些高达175层的芯片设计,如3D NAND,刻蚀步骤就显得格外主要和困难。

离子注入

一旦图案被刻蚀在晶圆上,晶圆会受到正离子或负离子的轰击,以调度部分图案的导电特性。
作为晶圆的材料,质料硅不是完美的绝缘体,也不是完美的导体。
硅的导电性能介于两者之间。
将带电离子勾引到硅晶体中,让电的流动可以被掌握,从而创造出芯片基本构件的电子开关——晶体管,这便是 \"大众离子化\"大众,也被称为 \公众离子注入\公众。
在该层被离子化后,剩余的用于保护不被刻蚀区域的光刻胶将被移除。

封装

在一块晶圆上制造出芯片须要经由上千道工序,从设计莅临盆须要三个多月的韶光。
为了把芯片从晶圆上取出来,要用金刚石锯将其切成单个芯片。
这些被称为“裸晶”的芯片是从12英寸的晶圆上分割出来的,12英寸晶圆是半导系统编制造中最常用的尺寸,由于芯片的尺寸各不相同,有的晶圆可以包含数千个芯片,而有的只包含几十个。
这些裸晶随后会被放置在“基板”上——这种基板利用金属箔将裸晶的输入和输出旗子暗记勾引到系统的其他部分。
然后我们会为它盖上具有“均热片”的盖子,均热片是一种小的扁平状金属保护容器,里面装有冷却液,确保芯片可以在运行中保持冷却。

统统才刚刚开始

现在,芯片已经成为你的智好手机、电视、平板电脑以及其他电子产品的一部分了。
它可能只有拇指大小,但一个芯片可以包含数十亿个晶体管。
例如,苹果的A15仿生芯片包含了150亿个晶体管,每秒可实行15.8万亿次操作。
当然,半导系统编制造涉及到的步骤远不止这些,芯片还要经由量测考验、电镀、测试等更多环节,每块芯片在成为电子设备的一部分之前都要经由数百次这样的过程。

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