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专利择要显示,本申请供应了一种适用于半导体器件的填埋扇出式封装方法及装置,方法包括准备冷却基板和半导体器件;在冷却基板上按照第一预设参数刻蚀散热通道;基于散热通道的刻蚀终点,在冷却基板上按照第二预设参数刻蚀散热微通道,使散热微通道与散热通道连通;将半导体器件连接在冷却基板靠近散热微通道的一侧;在冷却基板刻蚀有散热通道的一侧贴装芯片粘贴膜;将带有半导体器件的冷却基板通过芯片粘贴膜填埋至转接板内,并使散热通道与外界连通。通过本申请供应的封装方法,办理了传统填埋扇出式封装中降落了芯片的可靠性及 DAF 贴装困难的问题。
本文源自金融界

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