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专利择要显示,本发明公开一种半导体器件高效清洁装置,包括清洁组件,所述清洁组件包括设置的芯片洗濯框、设置在所述芯片洗濯框内的洗濯盘、开设在所述洗濯盘顶真个芯片放置槽、固定在所述芯片放置槽外侧壁的环形盘、固定在所述洗濯盘中间位置的横板、开设在所述环形盘表面的圆孔和固定在所述芯片洗濯框底面的导向柱;激荡洗濯组件;驱动组件。本发明通过设置的洗濯安装构造和激荡洗濯构造的相互合营,达到在利用时,同个电机对两个横杆形身分歧方向的迁徙改变,这样可直接将水流激荡,这样形成相对较大的冲击力,确保将灰尘带走。
本文源自金融界