基于FPGA的高精度鉴相器实现_精度_可编程

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)，体积小、功耗低、谐振频率高、光学特性好[1]，在医疗、军事、科研等领域得到广泛运用。
在MEMS微振镜的同步掌握过程中，传统的仿照鉴相器很难达到较高精度，并且仿照鉴相器开拓周期长，不易优化。
基于现场可编程门阵列(Field Programmable Gate Array，FPGA)的数字鉴相器可以大大提高鉴相精度[2]，并且灵巧可调，方便实现MEMS微镜的同步掌握。