台海网4月24日讯(海峡导报邬眉通讯员管轩雷飏文/美日丰创光罩公司供图)集成电路俗称“芯片”,光罩是芯片的关键性技能。昨日,厦门注入强大“芯”力量——厦门美日丰创光罩有限公司宣告正式开工,将于6月出货,估量今年产能将达4000片。
昨天上午10:30,在厦门火炬(翔安)家当区,美日丰创举行开工仪式。美日丰创由环球商用光罩巨子——美国丰创股份和日本DNP(大日本印刷株式会社)合伙,于2017年6月破土动工,项目总投资10.67亿元,总建筑面积3.9万平方米,是目前海内唯一一家独立的高端光罩厂,可为海内供应主流的14纳米及以上制程的光罩。
光罩是集成电路家当链的主要组成部分,类似于生产集成电路的“胶卷底片”,全天下能够生产光罩的前辈工厂不超过十家,此前,大陆紧张高端晶圆厂商利用的光罩多依赖国外入口。美日丰创光罩项目可为已经落户厦门的联芯配套,投产后将扩大联芯产能,增强竞争力,同时,可吸引更多集成电路设计企业聚拢厦门,强化集成电路家当集聚效应,对厦门市乃至大陆的集成电路家当发展都具有主要意义。

近年来,厦门正在打造集成电路千亿家当链,2017年厦门火炬高新区集成电路家当规模居全国第五,园区已集聚拢成电路及配套企业近150家,并初步形成覆盖“芯片设计、材料与设备、晶圆制造、封装测试、运用”的集成电路百口当链布局。个中,联芯12英寸晶圆厂已经投产,成为我国大陆地区已投产的技能水平最前辈、良率最高的12英寸晶圆厂。
据先容,目前,美日丰创正加紧试产跑线,投产后初期每月产能为500片,1年后将增产到1200片到1500片,成为大陆地区规模最大的集成电路商用光罩生产基地。
美国丰创公司首席实行官Peter Kirlin表示,下一步,将在厦打造天下顶级光罩研发中央,操持投资1亿美元研究7纳米和EUV(极紫外线)光刻工艺,为厦门集成电路发展供应更多的技能支撑。据悉,目前环球只有台积电、三星和英特尔三家国际大厂有这样的工艺水平研发和生产。
科普
光罩和集成电路
集成电路是一种微型电子器件或部件。它采取一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型构造。
光罩是将电路设计转移到晶圆片上的一个必要转换媒介,由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料。
在集成电路的过程中,将光罩送至晶圆厂放置于光刻机台中,利用光蚀刻技能,在半导体上形成图形,为将图形复制于晶圆上,必须透过光罩浸染,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复制至相片上,个中把晶圆片比作照片,那么光罩就相称于“胶卷底片”,只要光罩存在,就能复制无数的晶圆片。
由于晶圆上的所有芯片皆须要藉由光罩专制,光罩的质量必须是零毛病,线宽的精准工艺哀求以纳米为单位。