晶圆厂中FIB设备为什么很重要？_离子束_样品

FIB是什么？

首先，FIB不是FBI，不要搞混了。
FIB，全名Focused Ion Beam，即聚焦离子束。
类似于SEM(扫描电子显微镜),SEM 利用聚焦电子束对样品进行成像。

FIB的基本事理？

镓在强电场下被加速，产生高能离子束。
通过掌握电场和磁场，使离子束在样品表面上精确移动，扫描样品表面。
高能离子束轰击样品表面，导致表面原子被溅射出来，同时产生二次电子。
二次电子被检测器捕获，用于成像和剖析。

为什么FIB如此主要？

FIB有三大浸染：

1，芯片截面剖析。
FIB可以以纳米级的精度对芯片进行截面切割，创造芯片内部的构造毛病。
一样平常的FIB集成了二次离子质谱或EDS或EDX，可以剖析样品不同层次的元素分布和浓度。
这是FIB在晶圆厂中最主要的浸染。

2，芯片电路的修正。
FIB 可通过离子束勾引沉积来沉积材料，也可以通过高能镓离子撞击样品来刻蚀材料，因此可以用于芯片的修复或掩模版的修复。

3，TEM制样。
TEM 须要非常薄的样品，常日约为100 纳米或更薄。
如果芯片上数百万个晶体管中有一个涌现故障，那么唯一能够制备该单个晶体管的电子显微镜样本的工具便是 FIB。

FIB的价格贵吗？

设备极贵，在一些微纳加工平台，每小时的利用价格在2000-3000RMB之间。

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