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什么是MEMS？
MEMS，即微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System），实质上是一种微制造技能。利用大规模集成电路制造技能和微加工技能，把微传感器、微实行器、微构造、旗子暗记处理与掌握电路、电源、通信接口等集成在一片或者多片芯片。基于MEMS技能制造的芯片有低功耗、小型化、智能化的特色，是MEMS传感器和实行器的核心。
MEMS紧张分为MEMS 传感器和 MEMS 实行器。传感器可感知和丈量物体的状态和变革，并将被丈量的状态和变革转变为电旗子暗记等；实行器将掌握旗子暗记转变为眇小机器运动或机器操作。
本文紧张谈论MEMS惯性传感器。
（一）MEMS传感器
MEMS 传感器，是利用最广泛的 MEMS 产品。通过微传感元件和传输单元，将输入的旗子暗记转换，并导出另一种可监测旗子暗记。与传统工艺制造的传感器比较，具有体积小、重量轻、本钱低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、 易于集成、实现智能化等特点。
MEMS 惯性传感器，属MEMS传感看重要分支，是一种用于丈量物体的加速度、角速率和倾斜角度等参数的电子传感器。紧张包括陀螺仪、加速度计等，并可通过组合形成惯性组合传感器 IMU。个中，陀螺仪和加速度计最为核心，磁力计常日作为赞助或补充因而主要性次于陀螺仪和加速度计。
（二）MEMS加速度计
MEMS 加速度计，是惯性传感器根本核心器件之一，紧张用于感知物体运动的线加速度。
根据感测事理，分为压阻式、电容式以及热式等类型。电容式MEMS加速度计凭借高灵敏度、高精度、低温度敏感等特点，霸占市场主导地位。举几个范例例子：（1）智好手机：实现基本的横竖屏切换、活动检测、动作识别等；（2）智能穿着：在TWS耳机、智好手表等可穿着设备中实现敲击检测、就寝检测、抬手亮屏等功能；（3）汽车后装：用于汽车后装行车记录仪和车载定位器中，实现碰撞检测和唤醒行车记录仪等功能。
（三）MEMS陀螺仪
MEMS陀螺仪，是惯性传感器根本核心器件之一，紧张用于感知物体运动的角速率。详细用于导航定位、姿态感知、状态监测等领域。
与传统机器陀螺仪比较，MEMS陀螺仪上风包括：（1）更小、更轻，在追求小尺寸和轻量化的领域意义较大；（2）微细加工工艺，比传统陀螺仪更具本钱效益；（3）功耗更低；（4）损耗更小，可靠性更高。
（四）MEMS磁力计
磁力计，是丈量地球磁场并供应航向的传感器。除勘探、军事等传统运用，MEMS技能使磁力计体积更小并且可以非常低的本钱集成到集成电路中，因此广泛运用于智好手机、平板电脑等领域。
二、MEMS惯性传感器家当链
MEMS惯性传感器家当链可划分为上游器件（含设计、生产、封装、标定测试等）、中游模组、下贱系统、终端运用。
三、重点公司梳理
敏芯股份：紧张产品包括MEMS声学传感器、MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器、MEMS力传感器、MEMS流量传感器等。六维力传感器方面，公司仍处于研发阶段；
苏州固锝：参股明皜传感是国产MEMS加速度计传感器的紧张供应商之一，产品包括加速度计传感器、力度传感器、温度传感器等；公司紧张产品为各种半导体二极管，具备全面二极管晶圆、芯片设计制造及二极管封装、测试能力；子公司苏州晶银是导电银浆供应商；
芯动联科：公司自研高性能MEMS 惯性传感器产品已达到其同类产品的性能等级，在 MEMS 惯性传感器领域处于国际前辈水平；利用目前在高性能 MEMS 惯性传感器方面的上风，做事于高端工业、无人系统、高可靠等领域，研发出多品类工业级、汽车级 MEMS 惯性器件，成为高性能 MEMS 传感器行业领导者；
康斯特：主营数字检测仪器设备研产销，供应高性能和高可靠性的压力、过程旗子暗记、温湿度校准测试产品办理方案。在传感器的测评和补偿算法方面处于国际领先水平，正加速进行多构造传感器开拓与产线设计；加速布局 MEMS 压力传感器及垂直制造项目；。
安培龙：公司压力传感器包括陶瓷电容式压力传感器、MEMS 压力传感器以及玻璃微熔压力传感器；
赛微电子：环球领先的MEMS芯片专业制造厂商，为环球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等客户供应一流的MEMS工艺开拓及晶圆制造做事；已实现MEMS微振镜的批量生产，产能爬坡正在持续进行中；
华依科技：目前公司IMU产品紧张运用于汽车智驾领域，相继得到奇瑞和智己汽车定点；
灿瑞科技：主营来源于智能传感器芯片、电源管理芯片和封装测试做事；自主开拓的三轴磁力计通过单颗芯片实现高精度、低功耗、高数据输出速率，可适用地磁事理的停车检测、无人机导航、室内导航、机器人、AR/VR等。
来源：经韭不衰
