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芯片制造工程--工艺流程图_工艺_后段

乖囧猫 2024-09-03 20:35:46 0

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A.是这样的--在小米上刻字?

B.还是这样的--在树根上面进行镂空雕刻?

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C.又或者是这样的--像PCB版印刷样的,线路板平面连接各种电子器件?

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(图片来自网络侵删)

D.实在与PCB很像,相称于是一个立体的PCB,最下面是很多晶体管密集的排列在一起,然后通过很多的金属导线,通过立体的架构,一层又一层的链接起来,如下图所示。

是不是很神奇,有点建筑学的样子,制作晶体管的部分便是所谓的前段工艺(FEOL),从金属连接(Contact)开始便是所谓的后段工艺(BEOL),有没有金属制程是区分前后段工艺的主要标识哦。

好啦,废话不多说,我们来看看底层的晶体管是怎么建立起来的,下面给大家分享下基本的工艺流程图。

(1)先对P型的的硅片进行高温氧化工艺,天生很薄的一层Si3N4的薄膜层(Film)。

(2)在Si3N4上均匀的涂上一层光刻胶。

(3)利用掩膜版(又叫光罩/Reticle)上的图形进行曝光和显影的工艺,刻出有源区

(4)进行刻蚀的工艺,将光刻胶遮住的那一部分刻蚀出来

(5) 进行氧化(栅氧化), 在暴露的硅表面天生一层严格掌握的薄SiO2层。

(3) 淀积多晶硅, 刻蚀多晶硅以形成栅极及互连线图形。

(4) 将磷或砷离子注入, 多晶硅成为离子注入的掩膜(自对准), 形成了MOS管的源区和漏区;同时多晶硅也被掺杂, 减小了多晶硅的电阻率。

(5) 淀积SiO2, 将全体构造用SiO2覆盖起来, 刻出与源区和漏区相连的打仗孔。

(6) 把铝或其它金属蒸上去, 刻出电极及互连线

后面便是大家所熟习的CMP(化学机器研磨),WAT(Wafer的电性测试),OQC(出货考验)等工艺流程啦。

实际上,我们的产品要比这个繁芜的多,少则两三百步,多则四五千步。
但基本上都是基于上面的步骤进行循环和细化。

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