AMEYA360：蔡司扫描电镜助力衬底芯片检测及分析_蔡司_电子显微镜

　　本日将为您先容蔡司电子显微镜办理方案如何实现低本钱高效率的工艺验证和晶圆检测。

　　Near-line剖析利器

　　蔡司场发射扫描电子显微镜和双光束电子显微镜可配备超大型样品室、载物台和气闸交流室，可兼容高达8英寸的硅片，实现硅片任意位置整片无开裂横截面、TEM制样、SEM成像等任务

　　定制自动化流程解放您的双手

　　衬底、外延成长或芯片制造的常规过程掌握常日须要剖析芯片上的多个特色位置。
蔡司场发射扫描电子显微镜或双束电子显微镜可以设置定制的自动化流程，在硅片上的多个固定位置进行自动图像调度、聚焦和采集，或者利用一束聚焦离子束完成自动样品制备。
降落事情过程中的运营本钱和人工本钱。
同时，通过人工智能技能可以实现更智能的图像处理和丈量。

　　样品导电性差如何办理?

　　在半绝缘碳化硅衬底或其他导电性较差的化合物半导体芯片上进行显微剖析时，随意马虎碰着样品中电荷积累导致的图像漂移和变形、比拟度差等一系列问题。
蔡司场发射扫描电子显微镜的NanoVP可变气压模式可以肃清充电效应的不利影响，实现低真空下的高分辨率成像，操作简便，无需繁芜的校准过程。

　　大尺寸芯片剖析平台、自动化事情流程和非导电样品成像技能为新兴基板和高下游制造商供应了巨大的代价。
新能源、轨道交通、消费电子等下贱运用的强劲需求，推动了我国第三代半导体家当的快速发展。
霸占着越来越主要的地位，未来蔡司将陆续推出更多与功率和化合物半导体干系的检测办理方案。
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