提到MEMS传感器就不得不说到ADI，今年对付ADI来说也是意义非凡的一年。从1987年开始投入MSMS Sensor研发至今，ADI已经走过的三十个年头，可以说是业界最早开始做MEMS研发的公司之一。
在这期间，1987年，ADI发布了第一颗High-G MEMS传感器用于汽车安全气囊碰撞监测，1996年发布了第一颗Low-G传感器用于人体运动监测，再到2011年发布“能够承受170度高温的MEMS加速计传感器”。
“2012年的时候，，AID推出了业界最低功耗的MEMS产品——ADXL362，后来这一产品广泛运用到智好手环等可穿着产品中，到目前位置，这一系列产品在市场上都霸占着非常高的份额。”ADI亚太区微机电产品市场和运用经理赵延辉最近一次的发布会上表示。
经由三十年的发展，ADI为什么对付MEMS传感器的发展和未来的紧张市场也有着自己独到的理解。在越来越多的企业开始关注MEMS传感器市场的现在，如何树立自己的品牌上风，为市场供应更好的发展动能，也是ADI目前所关注的。
不一样的市场关注点
从2008年，智好手机开始替代传统的功能手机开始，手机市场对付MEMS传感器的需求就迎来了持续性的增长，“在那个时候，ADI就已经把稳到了智好手机在MEMS市场分外的需求，更准确的说是便携式设备对付传感器的需求。”赵延辉表示。
与现在很多大厂将把稳力放在消费类电子产品上一样，2008年，ADI就投入了很多精力，推出了很多具有新颖功能的产品，“但是，随着手机市场趋于成熟，MEMS的功能也开始同化，竞争对手的大量涌入，拉低了全体市场的本钱，使得MEMS技能越来越平民化。以是ADI也逐渐将市场研发重点进行了转移，不是推出更加低本钱的产品，而是推出更加新颖的产品。”赵延辉强调。
目前，在ADI看来，其MEMS业务的紧张研发重点有四个：
首先，是陀螺和惯性单元。这样的模块中，现在可以集成很多类的传感器，比如加速度传感器、磁力计、气压计等等，高度的集成可以为客户相对大略的单芯片办理方案。但是在ADI来说，这样的单芯片办理方案，虽然适用于智好手机这样的日常利用环境，绝大多数情形下都是在室温情形下利用的，但是在工业、无人机等新兴的利用场景中，传统的单芯片办理方案并不适用。
“比如说，iphone中利用的MEMS传感器，在气温过高或者过低的时候就会涌现停摆的状况，这样的产品明显不适用于工业场景。”赵延辉表示，“ADI所要做的产品，便是能够上天入地，搪塞各种繁芜的高温高压环境。这是ADI重点关注的市场之一，据理解，目前还没有厂商专门做这方面的产品。”
其次，超低噪声。与超低功耗产品不同，在ADI推出超低功耗的ADXL 362芯片之后，有越来越多的厂商开始跟进这一市场，“由于大家都看到了可穿着设备对付这一系列产品的需求。现在超低噪声产品与当时超低功耗的环境非常类似，ADI可以说是第一个关注到这一市场的企业，目前还没有厂商在做。”
为什么ADI会想得到做这一方面的产品呢？赵延辉表示，超低噪声的产品紧张是针对对付高分辨率和高性能有需求的市场，譬如工业物联网市场。
手机加工自动化的难度远远高于汽车等大型产品的自动化，这紧张是由智好手机的小型化决定的。如何更加精准的进行定位，进行状态的监控，其难度也比汽车自动化生产要高。这就哀求，自动化生产所采取的传感器能够进行更精准的判断。“ADI推出的新产品便是针对这一高精度市场的。”
第三个市场重点便是低功耗。从之条件到的ADXL 362开始，超低功耗的芯片便是ADI发展的重点，也是目前MEMS传感器市场关注的重点。
聪慧城市、智能家居这些观点的逐渐深入，哀求电池在为产品供电的同时能够实现超长的利用韶光，超低功耗的哀求也就势在必行。
第四点便是相对极度的环境。譬如现在比较热门的无人机市场，“以农业无人机为例，由于须要比较长的续航韶光，这一类无人机一样平常采取油动机构，这就使得无人机的整体震撼非常间隔，那么在这种高温和高震撼的情形下，如何担保传感器的精度呢？”
“可以说，ADI关注的四个重点市场，在传感器的哀求方面与智好手机市场都有着非常大的差异。虽然本钱是客户关心的一件事情，但是如何通过具有新颖功能的产品为客户供应更高的产品代价，才是作为传感器厂商真正该当关注的。”赵延辉指出。
能否取代传统传感器
在提到ADI最新推出的新品时，赵延辉表示，现在有非常明显的趋势，在某些产品方面，MEMS传感器能够代替传统的传感器，而且这种确实正变得越来越明显。
据理解，MEMS传感器与传统的传感器比较紧张有以下上风：
微型化：MEMS器件体积小，一样平常单个MEMS传感器的尺寸以毫米乃至微米为计量单位，重量轻、耗能低。同时微型化往后的机器部件具有惯性小、谐振频率高、相应韶光短等优点。MEMS更高的表面体积比（表面积比体积）可以提高表面传感器的敏感程度。
硅基加工工艺，可兼容传统IC生产工艺：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相称，密度类似铝，热传导率靠近钼和钨，同时可以很大程度上兼容硅基加工工艺。
批量生产：以单个5mm5mm尺寸的MEMS传感器为例，用硅微加工工艺在一片8英寸的硅片晶元上可同时切割出大约1000个MEMS芯片，批量生产可大大降落单个MEMS的生产本钱。
集成化：一样平常来说，单颗MEMS每每在封装机器传感器的同时，还汇合成ASIC芯片，掌握MEMS芯片以及转换仿照量为数字量输出。
“ADI这次推出的新品之中，ADXL1001/1002振动传感器就能够非常好的代替传统的压电传感器。”
ADI七种新品
ADXL354/355超低噪声三轴加速度计：具备20µg/Hz噪声密度、最大0.15mg/C零点漂移、150uA低功耗等特性。相对付上一代ADXL103/203,噪声密度改进5倍；供应仿照和数字输出两种型号，数字接口支持SPI和I2C，直接可以访问传感器，不须要旗子暗记调理，也不须要ADC。估量10年内的±3.5mg零点重复性是该系列的最大特点，这对付构造康健监测的无线传感运用来说非常主要。
ADXL356/357 ±40g三轴加速度计：其噪声密度可低至80µg/Hz，可选丈量范围从±10g到±40g，最大0.75mg/C零点漂移以及< 0.1g振动整流偏差,只需极少量的校准事情即可实现精密丈量。赵延辉阐明说，之以是要在小量程之后再推出大量程丈量，紧张是考虑到旋翼无人机、固定翼飞机在翱翔时振动强烈，哀求量程足够大且振动整流偏差要小，这与楼宇桥梁等静态倾角丈量完备不同，以是ADXL356/357更适宜这种大量程动态倾角运用。
ADXL1001/1002振动传感器：ADXL1001的范例噪声密度为30μg/√Hz，灵敏度为20mV/g；ADXL1002的范例噪声密度为25μg/√Hz，灵敏度为40mV/g，其满量程范围分别为±100g(ADXL1001)和±50g(ADXL1002)。
ADXL372超低功耗200g大量程三轴加速度计：ADXL372具备±200g量程，有小加速度事宜检测能力，并且与ADXL362引脚兼容。其快速唤醒模式能够在检测到触发事宜后立即唤醒以获取完全波形，从而大大减少待机功耗。范例的运用处景例如宝贵物品运输时，可以通过安装这样的传感器进行全程运输记录，从而判断损毁韶光；或者参加比赛的运动员通过佩戴内置该传感器的检测设备，一旦比赛中发生严重碰撞，就可及时就医，避免延误病情等。（文/刘燚）
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