什么是电磁波频率？
电磁波频率以赫兹( Hz )为单位进行丈量，它表示电磁波传输时每秒的周期数。一赫兹即是每秒一个周期。在电磁波中，波长与频率成反比，即
波长=波速/频率
λ=v/f
什么是RF？
RF，Radio Frequency，便是射频电流，它是一种高频互换变革电磁波。射频频谱包括范围从 3kHz 到 300 GHz 的电磁波频率。它被分为几个频段，可分为低频（LF）、中频（MF），高频（HF），超高频 (SHF) 和极高频 (EHF)等 ，以便于识别。
RF能量与频率的关系
电磁辐射的能量与其频率成正比,即频率越高，能量越大。可用公式表示为：
E=hf
个中 h是普朗克常数，�f是辐射的频率。
半导体设备射频电源的常见频率
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13.56MHZ
13.56 MHz是最普遍的RF电源频率。13.56 MHz是由国际射频工程师协会(SEMI)和国际无线电通讯同盟（ITU）确定的工业标准射频。这种特定频率选择的缘故原由是基于用于工业 (I)、科学 (S) 和医疗 (M) 仪器的频率带宽的分配。该频段称为 ISM 频段，中央频率为 13.56 MHz，带宽为 14 KHz，标准化的规范可以帮助设备制造商减少了与其他频率可能引起的滋扰。
2.45GHZ
2.45 GHz是微波频率中的一个特定频率，当我们提及"2.45 GHz微波"，人们每每首先会想到家用微波炉，但它的运用不仅限于此。2.45 GHz 的频率产生的等离子体一样平常能量较高，这意味着它可以更有效地产生等离子体，尤其是在低压下。这个频率一样平常对应于微波射频，可以利用磁场赞助天生等离子体，如在微波电子回旋共振（ECR）等离子体源中所见。
2MHZ与4MHZ
常日能产生较高的离子流密度，常日与13.56MHZ，2.45GHZ结合在一起利用，以平衡离子能量、离子流密度和等离子体均匀性。
如何选择RF电源频率?
13.56 MHz供应了良好的等离子体密度和适中的离子能量，使实在用于多种蚀刻和沉积运用。比较较于13.56 MHz，2.45 GHz可以产生更高的等离子体密度，可能更适用于须要高离子密度的运用。2 MHz 和 4 MHz可以为蚀刻供应更好的轮廓掌握，特殊是在深度蚀刻或高方向性蚀刻中。
因此，选择得当的RF电源频率，对付做好产品也十分主要。半导系统编制造，要把稳细节！
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