因此，为担保芯片质量，在LED前道制程中，须要对LED芯片进行毛病检测，确保后道制程的产品良率，提升生产效益。
LED前道工艺制程
芯片检测最早采取人工目检的办法，但随着LED照明、显示行业技能的逐步提升，封装器件的小型化趋势对芯片检测提出了更严苛的哀求。人工目检难度增大、误判率升高、并且无法检测某些类型的毛病，已经不能知足市场的检测哀求。自动光学AOI检测技能可以自动定位和检测LED芯片，能有效降落工人劳动强度、降落检测误判率，并大大提高事情效率，节省了大量的人力物力本钱。
2018年，大族半导体进入了视觉检测行业，于2019年成功自主研发出LED芯片AOI目检机（COT）。凭借在LED芯片检测领域的丰富研发履历和技能积累，又于2020年自主研发出LED芯片AOI目检机（COW），率先冲破了国外公司对该设备的技能垄断，陆续得到行业标杆客户的高度认可，设备发卖额保持持续增长。
LED芯片AOI目检机（COW）
设备外不雅观图
AOI（Automatic Optic Inspection）晶圆检测设备紧张运用于Wafer外不雅观毛病检测，采取前辈的组合光源打光技能和高速高分辨率相机，可以清楚的识别Wafer的外不雅观瑕疵，配置不同倍率的高解析度镜头，最小可检测2μm旁边的瑕疵尺寸。
设备上风
◆ 代替人工检测，事情效率稳定：自动化检测并显示检测结果，检测速率快并且检测稳定可靠，减少人为成分影响；
◆ 实现数据化，事情过程可完全记录：机器的数字化智能化将生产记录全部保留，担保了生产过程的品质可追溯性；
◆ 具备预定位功能：在进入检测区之前，可对料盘上晶圆的位置进行预定位，节约整体检测韶光；
◆ 节省人力本钱：料筒采取环抱晶圆机器人摆放，搬运操作一直机，高下料区共可容纳725片。间隔时长超过1.5h，1个人可同时管理多台机器。
检测样例
检测样例1
检测样例2
检测样例3
大族半导体在光学传感和尺寸量测领域拥有多项专利，具备视觉和激光扫描检测算法、运动掌握系统和光学丈量的专业设计、研发、生产能力。大族半导体将持续全力推进超高精度全自动光学检测关键技能研发与优化，并保持精益求精的态度，为客户供应快速、准确、稳定的自动化检测办理方案和工艺信息化质量管理系统，争取实现泛半导体行业视觉检测设备的全覆盖目标。
