亚成微申请自动取芯设备及取芯方法专利能精准装入芯片且避免对芯片造成损坏_工装_轨道

专利择要显示，本发明供应了一种自动取芯设备及取芯方法，用于办理现有取芯设备存在的效率低下以及无法检测装反或漏装等技能问题。
本发明的自动取芯设备包括华夫盒工装、检测机构、传送轨道、上料机构、取芯机构和下料机构。
上料机构用于将华夫盒工装转移至传送轨道上；取芯机构包括位置检测模块、移动装置、视觉装置以及实行机构；实行机构根据位置检测模块的检测结果和视觉系统的采集信息将晶圆上的待取芯片转移至传送轨道上的华夫盒内；检测机构用于检测华夫盒工装的方向、华夫盒的方向和数量以及华夫盒中芯片的数量和质量；下料机构用于移出传送轨道上的华夫盒工装；本发明的自动取芯设备可以将芯片精准装入华夫盒，同时避免对芯片造成破坏。

本文源自金融界