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半导体家当爆发式发展
随着AI、人形机器人等行业的爆发式发展,半导体家当迎来巨量增长空间,估量2030年其市场规模将打破1万亿美元大关。

半导体家当因此硅、锗、氮化镓等半导体材料为根本的计策性支柱家当,也是范例的技能密集、资金密集型家当。其制造工艺繁芜,涵盖硅片制造、芯片设计、光罩制作、芯片制造、封装测试等环节的上千道工序,下贱涉及集成电路、显示面板、医疗康健、消费电子、照明、通信、光伏、新能源汽车等浩瀚运用领域。
由于半导体晶圆制程的不断发展,线宽越来越窄,对生产工艺的哀求也越来越高,这些成分都对半导体晶圆工厂各个别系的持续无端障运行能力以及所供应给生产工艺制程干系的质料的品质提出了更高的哀求。
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电子气体安全问题不容忽略
在半导体生产制造过程中,电子气体是仅次于硅片的第二大制造材料,品类多达上百种,被誉为“芯片血液”。
电子气体包括电子大宗气体和电子特种气体两大类,个中电子大宗气体是生产制造过程中的环境气、保护气和载体,而电子特种气体紧张运用于光刻、刻蚀、成膜、洗濯、掺杂、沉积等芯片制造工艺之中。
与此同时,在半导体生产制造过程中,还可能产生酸性废气、碱性废气、有机废气、一样平常尾气等气体。
电子气体与废气多为易燃易爆、有毒有害、堕落性、窒息性气体,而半导系统编制造车间多为无尘密闭环境,且配备回风系统,一旦发生危险气体泄露,哪怕是非常眇小的泄露,也可能引起爆炸、职员窒息或中毒事件。因此,用气安全问题不容忽略,必须进行气体检测。
《特种气体系统工程技能标准》(GB50646-2020)中有逼迫性规定,储存、运送、利用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置:
①自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、堕落性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处;
②生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、堕落性气体阀门箱的排风管口处,工艺设备的排风管口处;
③生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处;
④惰性气体间可能产生窒息的区域;
⑤自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、堕落性气体设备间;
⑥其他可能发生泄露的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、堕落性气体的环境。
此外,该标准还对报警设定值、相应韶光、安装位置等进行了干系规定。
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汉威半导体工厂气体检测仪
汉威科技集团推出的半导体工厂气体检测仪GD-HS10,是一款专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体泄露的高端产品,具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等行业。
高精度眇小泄露检测
每种气体都有对应的温度补偿及领悟算法,零点自动校准,可实现精准眇小泄露检测,性能达行业领先水平。
支持上百种气体
支持电化学、催化燃烧、光学等多种事理传感器,支持上百种气体,可知足客户个性化检测需求。
电磁泵吸设计
采取电磁泵吸事理吸气,磨损小,寿命长,流量恒定,30米超上进气管,快插接头设计,安装便捷。
点阵式LCD大屏显示
界面都雅易读,气体名称、浓度、报警情形等一览无余,适宜海内用户习气。
目前,该产品已经成功运用于多家半导体行业制造工厂,并得到用户的同等认可。
结语
后摩尔时期,半导体行业的生产工艺难度不断加大,生产制造本钱不断升高,电子特种气体的本钱占比高达13%,部分高端入口吻体价格非常昂贵,每公斤价格可达数万元,气体泄露不仅会造成财产丢失,还可能造成工伤事件。汉威科技集团在有毒有害、易燃易爆等气体安全监测领域拥有深厚的技能积淀与做事履历,将以半导体工厂气体检测仪为支撑,助力半导体企业安全生产,降本增效。