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超声波清洗机-哪种清洗液最适合清洗半导体芯片呢?_污染物_半导体

南宫静远 2025-01-04 22:27:53 0

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在选择洗濯液来洗濯半导体芯片时,须要综合考虑芯片表面的污染物类型、洗濯哀求以及洗濯液的特性和兼容性。
以下是几种适宜洗濯半导体芯片的洗濯液及其特点:

半导体水基洗濯剂:

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1.组成:紧张由表面活性剂和其他添加剂组成,常日是中性的。

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(图片来自网络侵删)

2.特点:对铜、铝等敏感金属和特种功能材料有良好的兼容性,洗濯效果好,本钱较低,无毒无堕落性,且易于后续废水处理。

3.运用:适用于半导体封装行业,特殊是须要保护敏感金属和功能材料的洗濯过程。

有机溶剂类洗濯液:

1.组成:如醇类、酮类、醚类等。

2.特点:具有较强的溶解能力,能快速去除器件表面的有机污渍和油脂,但对无机盐类污渍的溶解能力较弱。

3.把稳事变:利用时需把稳其挥发性和易燃性,并确保与芯片材料兼容。

碱性洗濯液:

1.组成:如氢氧化钠(NaOH)、氨水等。

2.特点:可用于去除有机物和酸性污渍,但对一些分外材料(如铝)存在堕落风险。

3.运用:适用于去除半导体表面的有机物和酸性污染物,但须要根据芯片材料谨慎选择。

稠浊洗濯液:

1.组成:结合有机溶剂与酸性或碱性溶液的稠浊物。

2.特点:具有比单一洗濯液更广泛的运用范围,能同时处理有机污染物和无机盐类污渍。

把稳事变:须要根据详细污染物类型和洗濯哀求选择得当的稠浊比例。

SC-1(APM)洗濯液:

1.组成:由质量分数为27%的氨水(NH4OH)、30%的氧化剂双氧水(H2O2)和去离子水(H2O)以1:1:5的比例配制而成。

2.特点:通过化学刻蚀方法去除晶圆表面的污染物,特殊适用于去除氧化物和金属离子。

3.运用:常用于湿法洗濯,适用于多种半导体晶圆杂质的去除。

总结:

对付一样平常的半导体芯片洗濯,半导体水基洗濯剂因其良好的兼容性和环保性成为首选。

对付有机污染物,有机溶剂类洗濯液具有快速溶解能力,但需把稳其安全性和兼容性。

碱性洗濯液适用于去除酸性污渍和有机物,但需谨慎选择以避免堕落风险。

稠浊洗濯液和SC-1(APM)洗濯液则供应了更广泛的洗濯能力,适用于特定污染物和繁芜洗濯哀求。

在选择洗濯液时,建议根据详细的芯片类型、污染物类型和洗濯哀求,结合洗濯液的特性和兼容性进行综合考虑,以选择最适宜的洗濯液。

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