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参数剖析仪(参数测试仪)加快各种材料、半导体器件和前辈工艺的开拓,完成制程掌握、可靠性剖析和故障剖析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数剖析仪,供应同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线丈量。
探头系统是开放的,易于利用和本钱效益,但高度准确。这些 系统专为精确剖析高达150,200和300mm的基板和晶圆而设计。 它们可以配置为支持各种运用,如失落效剖析,设计验证/IC工程, 晶圆级可靠性,大功率,器件表征,MEMS和旗子暗记完全性。

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扫描电子显微镜(SEM) 与EDS组合,进行元素身分定性、定量分 析;可运用于材料高分辨成像、电子产品如PCB板/FPC、半导体, 光电材料、通讯行业材料描述/堕落/微污染剖析,微区元素打点剖析/特定元素沿深度方向的线扫描,元素的面分布。表征范围: 微不雅观描述、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、 晶体构造、相组成、构造毛病、晶界构造和组成等。
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