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据宣布，这次购买光刻机的是中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司，昨天他们从荷兰入口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。
据悉，这台机器紧张用于企业复工复产后的生产线扩容。
中芯国际表示，坪山海关一系列做事方法，保障了设备第一韶光进入厂区完成安装进入生产，生产线扩容后整年估量可为企业增加10%旁边的营收。
宣布没有提及中芯国际购买的光刻机的详情，不过肯定可以打消最新的EUV光刻机，现在入口的该当还是193nm波长的DUV系列光刻机。
ASML的DUV光刻机型号
虽然没有EUV技能，但ASML的沉浸式DUV光刻机依然可以制造28nm到7nm之间的各种芯片，中芯国际此前也表态下两代工艺N+1、N+2（相称于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不会上EUV光刻机。
与EUV光刻机动辄1亿美元以上的售价比较，EUV光刻机要便宜很多，但也要3000-5000万美元，还要有数目不菲的安装做事用度，足以让很多小公司望而生畏。
中芯国际没有公布扩产的工艺详细是什么，但99%可能是14nm工艺，这是2020年中芯国际重点中的重点，去年底产能不过1000片/月，今年3月将达到4K，7月达到9K，12月达到15K。
根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法，1000片/月的产能就差不多要1亿美元的投入，15K晶圆/月的产能意味着15亿美元的投资。
放在以前，这样的投资是不划算的，不过现在这两年情形不同了，中芯国际的14nm及未来的7nm工艺无论如何都是要上的。
